【东星小帮手】冷水机在真空镀膜工艺的作用

      冷水机在真空镀膜工艺中有什么作用？  

      真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙

无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体

自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量

的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。

 为什么也要用水冷却？磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁

控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。从更深层次研究电子在非均匀电磁

场中的运动规律 ,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。磁控溅射可以被认为是镀膜技

术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定。更多详情请咨询我司网站www.dongxing-sz.com